三軸低真空組合臺： VA22EZH03200

※ 平移臺采用進(jìn)口精密滾珠螺桿驅(qū)動，重復(fù)定位精度和絕對定位精度好，軸向間隙小，壽命長；
v ※ 導(dǎo)軌采用高精度精密線性滑塊導(dǎo)軌，運(yùn)動舒適，承載大，適合單軸或多軸組合使用；
※ 精磨電移臺底板和合理的導(dǎo)軌固定方式大大的降低了電移臺的俯仰和偏擺，使運(yùn)動的直線度和平行度有較大提高；
※ 真空步進(jìn)電機(jī)和絲桿通過高品質(zhì)彈性聯(lián)軸節(jié)連接，傳動同步，消偏性能好，大大降低了偏心擾動且噪音小。

所屬分類：

真空組合位移臺

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詳細(xì)介紹

產(chǎn)品型號：VA22EZH03200
結(jié)構(gòu) 描述	真空度	10-3pa（低于此真空度皆可使用）
	負(fù)載臺面尺寸	120*120mm
	X軸行程	250mm
	Y、Z軸行程	150mm
	傳動方式	TBI絲桿；絲桿導(dǎo)程：4mm
	導(dǎo)軌	精密線性滑塊導(dǎo)軌
	Z軸中心負(fù)載	20Kg
	主要材質(zhì)	高強(qiáng)度航空鋁材（7075）
	電機(jī)類型	42真空步進(jìn)電機(jī)
	電機(jī)線	聚醚乙胺線
	電源電壓	24V±10%
	限位開關(guān)	光電開關(guān)
	表面處理	真空使用不氧化外觀；二次精磨或陽極氧化黑
精度描述	速度	≤30mm/sec
	XY軸重復(fù)定位精度	≤±5μm
	表面跳動	≤15μm