六自由度運動平臺
1.承載質量可達100千克；
2.重復精度達±1微米；
3.行程達±50毫米/±30度；
4.可在任意方向工作。
2.重復精度達±1微米；
3.行程達±50毫米/±30度；
4.可在任意方向工作。
所屬分類：
詳細介紹
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運動參數(shù) |
指標 |
單位 |
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承載 |
100 |
kg |
|
X 、Y、Z向的行程 |
±50、±50、±25 |
mm |
|
θX、θY、θZ向上的行程 |
±15、±15、±30 |
° |
|
X、Y、Z向上的最小位移 |
0.5 |
μm |
|
θX、θY和θZ向上的最小位移 |
3 |
μrad |
|
重復精度X ,Y, Z |
±1 |
μm |
|
重復精度θX , θY, θZ |
±5 |
μrad |
|
X 、Y向的剛度 |
3 |
N/μm |
|
Z向的剛度 |
100 |
N/μm |
|
工作溫度 |
-10~+50 |
℃ |
|
電機類型 |
無刷直流電機 |
|
|
傳感器類型 |
絕對式編碼器 |
|
關鍵詞:
吉螢光電
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