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ABVT-Z 系列（Z軸氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)）垂直軸氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
所屬分類(lèi)：
詳細(xì)介紹
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參數(shù) | 項(xiàng)目 |
ABVT-Z20 |
-Z38 |
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電機(jī)類(lèi)型 |
音圈電機(jī) |
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光柵分辨率 |
sin\cos 4.88nm（可選其它更高分辨率） |
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電機(jī)推力 |
持續(xù)27N/峰值119N |
持續(xù)45N/峰值192N |
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最小步長(zhǎng)[nm] |
10nm(搭配nanopwm或者線性驅(qū)動(dòng)器) |
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行程 [mm] |
20 |
38 |
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重復(fù)定位精度 [um] |
±50nm |
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定位精度 [um] |
±150nm |
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平面度 [um] |
1um |
1.5um |
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直線度 [um] |
0.5um |
0.7um |
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最大速度 [mm/s] |
50mm/s |
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最大負(fù)載 [kg] |
6kg(采用氣動(dòng)恒力彈簧平衡) |
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關(guān)鍵詞:
吉螢光電
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