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詳細(xì)介紹
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參數(shù) | 項(xiàng)目 |
LMT-XY-200X200 |
ABVT-Z20(氣浮導(dǎo)軌) |
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電機(jī)類型 |
三相無鐵芯電機(jī) |
音圈電機(jī) |
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光柵分辨率 |
默認(rèn)100nm數(shù)字量 |
1vpp 細(xì)分至5nm |
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電機(jī)推力 |
持續(xù)60N/峰值210N |
持續(xù)27N/峰值119N |
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最小步長[nm] |
200nm |
100nm |
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行程 [mm] |
200x200 |
10 |
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重復(fù)定位精度 [um] |
±0.3 |
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定位精度 [um] |
±1 |
±0.5 |
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平面度 [um] |
10um |
5um |
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直線度 [um] |
1um |
1um |
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最大速度 [mm/s] |
500mm/s |
30mm/s |
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最大負(fù)載 [kg] |
5kg（Z軸帶氣動(dòng)恒力平衡配重） |
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關(guān)鍵詞:
吉螢光電
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