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EC-ABL-X 系列(經(jīng)濟(jì)型磁力預(yù)載系列)一維氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
所屬分類:
詳細(xì)介紹
參數(shù) | 項(xiàng)目 |
ABLE340-500 |
-1000 |
-1500 |
-2000 |
電機(jī)類型 |
有鐵芯直線電機(jī) |
|||
光柵分辨率 |
默認(rèn)0.1um(可選模擬量,最高1nm) |
|||
電機(jī)推力 |
持續(xù)550N/峰值1100N |
|||
加速度(空載) |
5G |
|||
行程 [mm] |
500 |
1000 |
1500 |
2000 |
重復(fù)定位精度 [um] |
≤±0.3um(如選配5nm光柵,最高可達(dá)±50nm) |
|||
定位精度 [um] |
2um/100mm (校準(zhǔn)后可小于0.5um/100mm) |
|||
平面度 [um] |
≤±0.5 |
≤±1 |
≤±1.2 |
≤±2 |
直線度 [um] |
≤±0.5/200mm |
|||
最大速度 [mm/s] |
3000(取決于驅(qū)動(dòng)器及行程) |
|||
最大負(fù)載 [kg] |
200kg |
關(guān)鍵詞:
吉螢光電
在線詢價(jià)